公开/公告号WO2009102033A1
专利类型
公开/公告日2009-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION;OKAGAWA HIROAKI;KUDO HIROMITSU;NAKAI TERUHISA;KIM SEONG-JIN;
申请/专利号WO2009JP52432
申请日2009-02-13
分类号H01L21/205;C23C16/34;C30B29/38;H01S5/323;H01L33/00;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 19:17:17