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process for wet chemical u00e4tzenvon has analyzed nanostructured tio2 thin films and has analyzed nanostructured tio2 particles and caustic

机译:化学湿法工艺分析了纳米结构的二氧化钛薄膜,并分析了纳米结构的二氧化钛颗粒和苛性碱

摘要

it"},{"src":"soll ein Verfahren und ein u00c4tzmittel zum nasschemischen u00c4tzen","dst":"a method for wet chemical etching and a caustic"},{"src":"von TiO","dst":"of tio2thin films and particles"},{"src":"angegeben werden, das einen definierten Abtrag der TiO","dst":"be given that a defined removal of tio2thin"},{"src":"bzw. eine Reduzierung der Partikelgru00f6u00dfe ermu00f6glicht.","dst":"or a reduction in the particle size possible."},{"src":"Das Verfahren umfasst die Verfahrensschritte Herstellen eines u00c4tzmittels","dst":"the method includes the steps of producing a u00e4tzmittels"},{"src":"mit einem pH-Wert gru00f6u00dfer 13, enthaltend eine Lauge","dst":"with a ph value greater than 13 containing lye"},{"src":"in einer Konzentration von 0,1","dst":"at a concentration of 0.1"},{"src":"Mol, ausgewu00e4hlt aus den Laugen NH","dst":"mol, selected from alkalis nh4oh, naoh"},{"src":"KOH oder Mischungen aus diesen, und H","dst":"koh, or mixtures of these, and h2o2at a low concentration compared with"},{"src":"zur Laugenkonzentration, Einstellen einer Temperatur gleich oder","dst":"the laugenkonzentration, employ a temperature equal or"},{"src":"gru00f6u00dfer Raumtemperatur, Eintauchen der TiO","dst":"higher temperature, immersion of the tio2thin films and particles in"},{"src":"das u00c4tzmittel und Verweilen der Schichten bzw. Partikel","dst":"the caustic and enjoy the layers or particles"},{"src":"in Abhu00e4ngigkeit der Temperatur und Zusammensetzung des u00c4tzmittels,","dst":"in dependence on the temperature and composition of the u00e4tzmittels,"},{"src":"Herausnehmen der geu00e4tzten TiO","dst":"removing the etched tio2thin films"},{"src":"bzw. -Partikel, Abspu00fclen mit destilliertem Wasser und Trocknen.","dst":"or particles, rinsing with distilled water, and drying."},{"src":"Zum Aufrechterhalten der anfu00e4nglichen Zusammensetzung des u00c4tzmittels","dst":"to maintain the initial composition of the u00e4tzmittels"},{"src":"wird wu00e4hrend des u00c4tzprozesses H","dst":"during the u00e4tzprozesses h2o2i admit it.
机译:“”,{“ src”:“应该是用于湿法化学蚀刻的方法和蚀刻剂”,“ dst”:“是用于湿法化学蚀刻和苛性碱的方法”},{“ src”:“来自TiO” “ dst”:“ tio的2薄膜和微粒“},{” src“:”的定义是TiO的确定去除“,” dst“:”的tio的定义是去除2细“},{” src“:”或。可以减小粒径“,” dst“:”或减小粒径。“},{” src“:”该方法包括生产蚀刻剂“,” dst的步骤“:”方法包括产生pH值大于13的苛性碱“},{” src“:”的步骤,其包含碱液值“ ph”大于pH的碱液“” dst“:”。 13含有碱溶液“},{” src“:”的浓度> 0.1“,” dst“:”浓度> 0.1“},{” src“:”摩尔,选自碱性溶液NH“,” dst“:” mol,选自碱值nh第四名哦,naoh“}”,{“ src”:“” KOH或这些的混合物,以及H“,” dst“:” koh或这些的混合物,和h2Ø2与苛性碱浓度相比,在与“},{” src“:”相比较低的浓度下,将温度设置为等于或等于“,” dst“:”苛性碱浓度,使用等于或“},{高于室温,TiO 2浸入,“ dst”:“更高温度,tio浸入2“},{” src“:”中的薄膜和颗粒,层或颗粒的蚀刻剂和缠结“,dst”:“苛性碱,并享受dep的层或颗粒”},{“ src”:“根据蚀刻剂的温度和成分,“},{” src“:”去除蚀刻的TiO“,” dst“: “删除蚀刻的二氧化钛2薄膜“},{” src“:”或。 -颗粒,用蒸馏水冲洗并干燥。“,” Dst“:”或颗粒,用蒸馏水冲洗并干燥。“},{” Src“ ::”保持苛性碱的初始组成“ ,“ dst”:“保持蚀刻剂的初始组成”},{“ src”:“蚀刻过程中将H”,“ dst”:“蚀刻过程中h2Ø2我承认。

著录项

  • 公开/公告号DE102007025136A1

    专利类型

  • 公开/公告日2008-12-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号DE20071025136

  • 发明设计人

    申请日2007-05-30

  • 分类号C23F1/32;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 19:09:49

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