要解决的问题:提供一种用于测量与构成的物理或化学现象有关的精确电势的仪器,以便简单地校正设备的输出特性随时间的不规则性或变化,并增强各种应用的性能。
解决方案:用于测量电位的仪器具有至少一个检测系统21,该检测系统具有电荷馈送部,感测部和浮动扩散部以及设置在样品引入部上的基准电位设定部26,该感测部具有接触以规定检测系统的测量电势,并且还具有控制调整部分22,用于扫描参考电势设置部分26的电势以获取检测系统21的输出特性并控制提供给检测系统21的电荷量感测部分调节上升REF电压的输出特性以自动校正输出特性。
版权:(C)2007,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP4641444B2
专利类型
公开/公告日2011-03-02
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社堀場製作所;
申请/专利号JP20050101855
发明设计人 三村 享;
申请日2005-03-31
分类号G01N27/00;G01D5/12;H01L27/14;G01N27/416;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 18:18:04