公开/公告号WO2011092994A1
专利类型
公开/公告日2011-08-04
原文格式PDF
申请/专利权人 JSR CORPORATION;ITO HIROKAZU;ISHIKAWA SATOSHI;YAMAMURA TETSUYA;HANAMURA MASAAKI;ARIMURA YUICHIRO;
申请/专利号WO2010JP73774
申请日2010-12-28
分类号H01L33/14;G03F7/075;H01L21/312;H01S5/323;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:56:22