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DIGITAL EXPOSURE METHOD AND DIGITAL EXPOSURE APPARATUS USING THE SAME CAPABLE OF EXPOSING A FIRST REGION AND A SECOND REGION TOGETHER USING ONE DIGITAL EXPOSURE APPARATUS

机译:使用具有相同曝光能力的数字曝光方法和数字曝光设备以及使用一个数字曝光设备来进行第二区域和第二区域曝光的数字曝光设备

摘要

PURPOSE: A digital exposure method and a digital exposure apparatus using the same are provided to reduce costs by integrally performing a main exposure process and a peripheral exposure process.;CONSTITUTION: A substrate(100) comprises a first region(10) and a second region(50). A plurality of panels(S11-Smn) is formed on the first region with a matrix type. A second region includes a glass ID region(51), a cell ID region(52), and an edge exposure region(53). The substrate is transferred to an exposure unit(30) by a stage. The exposure unit includes a plurality of exposure heads(E1-EK).;COPYRIGHT KIPO 2011
机译:目的:提供一种数字曝光方法和使用该数字曝光方法的数字曝光设备,以通过整体执行主曝光​​工艺和外围曝光工艺来降低成本。组成:基板(100)包括第一区域(10)和第二区域地区(50)。在第一区域上以矩阵类型形成多个面板(S11-Smn)。第二区域包括玻璃ID区域(51),单元ID区域(52)和边缘曝光区域(53)。基板通过台被转移到曝光单元(30)。曝光单元包括多个曝光头(E1-EK)。; COPYRIGHT KIPO 2011

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