机译:生产光电子器件,例如太阳能电池,包括:将基板供应到涂覆室中;将气体供应到涂覆室中;通过经由向电极的供应能量,在气体中产生等离子体;以及沉积用于层的材料
公开/公告号DE102010013324A1
专利类型
公开/公告日2011-10-06
原文格式PDF
申请/专利权人 SUNFILM AG;
申请/专利号DE20101013324
申请日2010-03-30
分类号H01L31/18;C23C16/24;C23C16/50;H01J37/30;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 17:47:19