机译:以预测单晶硅中产生的氧沉积行为的单晶硅中的氧沉淀行为预测方式,以单晶硅中的氧沉淀行为预测方式预测氧沉积行为
公开/公告号JP4901217B2
专利类型
公开/公告日2012-03-21
原文格式PDF
申请/专利权人 SUMCO TECHXIV株式会社;
申请/专利号JP20050517323
申请日2005-01-27
分类号H01L21/322;C30B29/06;C30B33/02;H01L21/324;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 17:36:44