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ELECTROMECHANICAL MICROSYSTEM (MEMS).

机译：机电微系统（MEMS）。

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摘要

The electromechanical microsystem is provided with at least two fastening elements (F1, F2) adapted to be fixed on a support, a fastening element (F1, F2) being integrally bonded to at least one flexibly deformable beam (P1 P2). .

机译：机电微系统设置有至少两个适于固定在支撑件上的紧固元件（F1，F2），紧固元件（F1，F2）一体地结合到至少一个柔性可变形梁（P1〜P2）上。。

著录项

公开/公告号FR2966813A1

专利类型
公开/公告日2012-05-04

原文格式PDF
申请/专利权人 THALES;
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申请/专利号FR20100004273
发明设计人 BERTRAND LEVERRIER;OLIVIER LEFORT;ANDRE BOURA;BERNARD CHAUMET;
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申请日2010-10-29
分类号B81B3;
国家 FR
入库时间 2022-08-21 17:04:07

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