要解决的问题:通过保留关于缺陷位的逻辑信息和关于用于压缩缺陷位图数据的方法以及用于显示缺陷位图的方法和设备的物理量信息的数据,在确定缺陷模式的同时有效地压缩数据。
解决方案:在将缺陷位的数据转换为逻辑信息之后,将逻辑信息转换为缺陷位的物理位置信息。然后,从物理位置信息确定缺陷模式的类型,并且针对每种模式分离缺陷比特组,并将其转换为坐标信息,作为针对每个分离的缺陷比特组的组。
版权:(C)2009,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP5088093B2
专利类型
公开/公告日2012-12-05
原文格式PDF
申请/专利权人 富士通セミコンダクター株式会社;
申请/专利号JP20070284150
申请日2007-10-31
分类号G11C29/40;G11C29/56;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 16:53:32