机译:基质处理设备,基质转移方法,半导体器件制造方法,基质处理方法以及在可降低交换频率的基质处理设备中应用虚拟基质的方法
公开/公告号KR20130043055A
专利类型
公开/公告日2013-04-29
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.;
申请/专利号KR20120098157
申请日2012-09-05
分类号H01L21/677;H01L21/02;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 16:27:15