机译:产生装置,即等离子流源,用于产生可伸缩的线性等离子,例如。真空大气压,具有等离子反应器,该反应器包括带有侧面的轮廓,以及沿反应器纵轴排列的缝隙天线
公开/公告号DE102012013418A1
专利类型
公开/公告日2014-01-02
原文格式PDF
申请/专利权人 SITEC AUTOMATION GMBH;
申请/专利号DE20121013418
申请日2012-07-02
分类号H05H1/46;H05H1/34;H01J37/32;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 15:37:57