机译:包含二乙基锌和三环芳基化合物的组合物在化学气相沉积过程中用于沉积氧化锌膜(例如导电透明氧化物膜)的用途,该氧化锌膜可用于制造平板显示器
公开/公告号FR2998583A1
专利类型
公开/公告日2014-05-30
原文格式PDF
申请/专利号FR20120061165
申请日2012-11-23
分类号C23C16/40;C30B25/02;C30B29/16;H01L31/0224;H01L31/18;H01L33/42;
国家 FR
入库时间 2022-08-21 15:36:32