机译:迭代控制方法,闭环制造控制单元,具有所述闭环制造控制单元的制造设备,所述闭环制造控制单元的使用,用于执行所述重复控制方法的计算机程序单元以及计算机存储程序单元的计算机可读介质
公开/公告号JP5701981B2
专利类型
公开/公告日2015-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 ボレアリス アーゲー;
申请/专利号JP20130515870
发明设计人 ヘラルド ヘルブスト;
申请日2011-06-21
分类号G05B19/418;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 15:30:24