机译:一种用于生产稀土金属氧化物层和通过齿轮金属氧化物层的方法,一种用于生产稀土金属氧化物层和通过齿轮金属氧化物层的设备的用途以及一种抵消
公开/公告号DE102008029385B4
专利类型
公开/公告日2014-11-27
原文格式PDF
申请/专利号DE20081029385
发明设计人 HANNO SCHNARS;KATHARINA PROF. DR. AL-SHAMERY;MATHIAS PROF. DR. WICKLEDER;MAREIKE DIPL.-CHEM. AHLERS;MARAIKE AHLF;
申请日2008-06-23
分类号C03C17/23;H01L21/336;H01L21/8242;H01L21/314;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 14:55:59