公开/公告号JP5920812B2
专利类型
公开/公告日2016-05-18
原文格式PDF
申请/专利号JP20110255808
发明设计人 ヤロスラフ レシェク シュヴェドヴィチ;ヴォルフガング カピス;ラース パニング;セバスティアン マーク シュヴァーツェンダール;マークス ノイバウアー;アンドレアス ホール;イェアク ヴァラシェク;
申请日2011-11-24
分类号F01D5/16;F01D25/06;F01D25;F03D80;F04D29/66;H01L41/187;H01L41/09;H01L41/08;F16F15/02;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 14:42:15