Berja

机译:贝雅

摘要

A structural strength of a bell jar is improved. The bell jar (10) is made of a quartz glass material which constitutes a chamber (110) of a vacuum processing apparatus (100) to perform a predetermined processing on an object to be processed by maintaining the chamber (100) at a negative pressure. The bell jar (10) comprises: a manipulation-type body (11) of which a lower end is opened; a flange portion (12) formed along the lower end of the body (11); a convex portion (13) formed on an upper portion higher than the flange portion (12) on a side surface (11a) of the body (11), and extending along a circumferential direction of the body (11).
机译:钟罩的结构强度得到改善。钟罩(10)由石英玻璃材料制成,该石英玻璃材料构成真空处理设备(100)的腔室(110),以通过将腔室(100)保持在负压下而对待处理的对象进行预定的处理。 。钟形罩(10)包括:操作型主体(11),其下端开口;沿主体(11)的下端形成的凸缘部分(12);在主体(11)的侧面(11a)的比凸缘部(12)高的上部形成有沿主体(11)的周向延伸的凸部(13)。

著录项

  • 公开/公告号JP6078407B2

    专利类型

  • 公开/公告日2017-02-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 古河機械金属株式会社;

    申请/专利号JP20130079900

  • 发明设计人 小池 一孝;

    申请日2013-04-05

  • 分类号C23C16/44;H01L21/31;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 13:53:29

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