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MASK ASSEMBLY FOR THIN FILM DEPOSITION AND ORGANIC LIGHT-EMITTING DISPLAY APPARATUS FABRICATED USING THE SAME

机译:使用相同的薄膜沉积和有机发光显示装置的掩模组件

摘要

A mask assembly for thin film deposition including a mask frame defining and surrounding an opening, and a mask coupled to the mask frame and having a plurality of deposition pattern units formed in a longitudinal direction of the mask and spaced apart from each other. The respective deposition pattern units include a deposition area, and each deposition area is divided into a plurality of pattern portions.
机译:一种用于薄膜沉积的掩模组件,包括:掩模框架,该掩模框架限定并围绕开口;以及掩模,其耦合至所述掩模框架,并具有沿所述掩模的纵向方向形成且彼此间隔开的多个沉积图案单元。各个沉积图案单元包括沉积区域,并且每个沉积区域被划分为多个图案部分。

著录项

  • 公开/公告号US2016369389A1

    专利类型

  • 公开/公告日2016-12-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SAMSUNG DISPLAY CO. LTD.;

    申请/专利号US201514982908

  • 发明设计人 MINGOO KANG;SANGSHIN LEE;JUNHYEUK KO;

    申请日2015-12-29

  • 分类号C23C14/04;H01L51/52;H01L27/32;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 13:48:42

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