СПОСІБ НАНЕСЕННЯ ПОЛІКРИСТАЛІЧНИХ ПЛІВОК БАГАТОКОМПОНЕНТНИХ СПОЛУК Cu2(M11)(M1V)(S,Se)4 (M11: Mn, Fe, Co, Ni, Zn, Cd, Hg; M1V: Si, Ge, Sn) МЕТОДОМ ПУЛЬСУЮЧОГО СПРЕЙ-ПІРОЛІЗУ

摘要

Спосіб нанесення полікристалічних плівок багатокомпонентних сполук Cu(M)(M)(S,Se)(М: Mn, Fe, Co, Ni, Zn, Cd, Hg; M: Si, Ge, Sn) методом пульсуючого спрей-піролізу, включає розпилення початкового прекурсору, який містить розчин хлоридів (MCl) або ацетатів (M(CHCOOH)) металів та тіомочевини (SC(NH)) на поверхню нагрітої підкладки з наступним формуванням відповідної плівки. Розпилення прекурсору здійснюють на нагріту до температури 673-683 K підкладку в інертній атмосфері, утвореній в частково герметизованій металевій робочій камері, яку продувають інертним газом з робочим тиском, більшим за атмосферний. Після формування плівки проводять селенізацію шляхом відпалу в парі селену в одному робочому циклі.