公开/公告号RU2618606C1
专利类型
公开/公告日2017-05-04
原文格式PDF
申请/专利号RU20150156900
发明设计人 SAMOKHVALOV PAVEL SERGEEVICH;VOKHMINTSEV KIRILL VLADIMIROVICH;BILAN REGINA STANISLAVOVNA;NABIEV IGOR RUFAILOVICH;DOVZHENKO DMITRIJ SERGEEVICH;SUKHANOVA ALENA VLADIMIROVNA;
申请日2015-12-30
分类号H01L21/00;B82Y20/00;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 13:23:36