机译:耦合机制,基体抛光装置,耦合机制旋转中心位置的确定方法,耦合机制旋转中心位置的确定程序,旋转体最大最大压力载荷的确定方法,旋转体最大压力负荷的程序
公开/公告号US2018071885A1
专利类型
公开/公告日2018-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 EBARA CORPORATION;
申请/专利号US201715815431
发明设计人 HIROYUKI SHINOZAKI;
申请日2017-11-16
分类号B24B37/005;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:05:00