公开/公告号US9875883B2
专利类型
公开/公告日2018-01-23
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201715660354
发明设计人 YUKINORI SAKIYAMA;YASWANTH RANGINENI;JEREMY TUCKER;DOUGLAS KEIL;EDWARD AUGUSTYNIAK;SUNIL KAPOOR;
申请日2017-07-26
分类号H01L21/02;H01J37/32;C23C16/509;H01L21/67;C23C16/50;C23C16/52;C23C16/455;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:56:02