公开/公告号US9997422B2
专利类型
公开/公告日2018-06-12
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申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201615089960
发明设计人 ISHTAK KARIM;YUKINORI SAKIYAMA;YASWANTH RANGINENI;EDWARD AUGUSTYNIAK;DOUGLAS KEIL;RAMESH CHANDRASEKHARAN;ADRIEN LAVOIE;KARL LEESER;
申请日2016-04-04
分类号H05H1/24;H01L21/66;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/67;C23C16/458;H01L21/263;H01L21/683;C23C16/50;C23C16/52;H01L21/02;C23C16/455;C23C16/509;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:55:24