公开/公告号WO2017222796A3
专利类型
公开/公告日2018-02-08
原文格式PDF
申请/专利权人 MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY;HOLLIS MARK A.;WADE TRAVIS;GEIS MICHAEL;MOLNAR RICHARD;
申请/专利号WO2017US35954
申请日2017-06-05
分类号C23C16/27;C30B29/04;C01B32/25;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 12:46:41