公开/公告号KR20180059936A
专利类型
公开/公告日2018-06-05
原文格式PDF
申请/专利号KR20187012922
发明设计人 쿠부츠 아드리아뉘스 헨드릭;라파레 레이몬드 빌헬무스 루이;넬슨 마이클 레오;판 데르 산던 야코뷔스 코르넬리스 헤라르뒤스;치에다 마이클 앤드루;아위테데이크 타모;오코너 제프리;
申请日2016-10-05
分类号G03F7/20;H01L21/67;H01L21/683;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 12:39:54