公开/公告号US2020098577A1
专利类型
公开/公告日2020-03-26
原文格式PDF
申请/专利号US201916583101
发明设计人 XIAOBIN XU;QING YANG;NATCHA WATTANATORN;CHUANZHEN ZHAO;LOGAN A. STEWART;STEVEN J. JONAS;PAUL S. WEISS;
申请日2019-09-25
分类号H01L21/308;H01L21/3065;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:21:24