HALF-LIGHT FUEL WITH FIELD ELECTRODS BETWEEN HALF-LIFE FUELS RECOGNISED AND PROCEDURES FOR THEIR RECORD

摘要

Halbleiterbauelement, umfassendHalbleiterfinnen (190), die zwischen einer Basisebene (BP) und einer Hauptoberfläche (101) eines Halbleiterkörpers (100) ausgebildet sind und in denen jeweils zwischen der Hauptoberfläche (101) und einem Kanal/Body-Gebiet (115) ein Source-Gebiet (110) und zwischen dem Kanal/Body-Gebiet (115) und der Basisebene (BP) eine Driftzone (120) ausgebildet sind;Gate-Elektrodenstrukturen (150) auf jeweils zwei einander gegenüberliegenden Seiten des jeweiligen Kanal/Body-Gebiets (115);eine durch ein Feld-Dielektrikum (251) von den Driftzonen (120) getrennte und sich von der Hauptoberfläche (101) bis zur Basisebene (BP) erstreckende Feldelektroden-Struktur (250) zwischen einander benachbarten Halbleiterfinnen (190), wobei die den einander benachbarten Halbleiterfinnen (190) zugeordneten Gate-Elektrodenstrukturen (150) einen oberen Abschnitt der Feldelektroden-Struktur (250) von mindestens zwei Seiten einfassen;eine vergrabene Verbindungsschicht (140x) mit einer Nettodotierstoffkonzentration von mindestens 1E18 cm