Focusing and laser processing equipment with such focusing equipment

摘要

Fokussiereinrichtung (1) zur Fokussierung eines Laserstrahls zur Bearbeitung eines Werkstücks, mit- einer optischen Einrichtung (5), welche eine optische Achse (7) aufweist, und welche eingerichtet ist zur Durchleitung eines Laserstrahls,- einem Halteelement (9), an welchem die optische Einrichtung (5) angeordnet ist,- einem Verbindungselement (17), welches mittels mehrerer im Wesentlichen parallel zueinander angeordneter erster Federelemente (19) mit dem Halteelement (9) elastisch verbunden ist,- einem Basiselement (21), welches mittels mehrerer im Wesentlichen parallel zueinander angeordneter zweiter Federelemente (23) mit dem Verbindungselement (17) elastisch verbunden ist,- einem ersten Antriebselement (25), welches an dem Halteelement (9) angeordnet ist, und mit- einem zweiten Antriebselement (29), welches an dem Basiselement (21) angeordnet ist, wobei- das erste Antriebselement (25) und das zweite Antriebselement (29) durch Wechselwirkung miteinander relativ zueinander verlagerbar sind, wodurch das Halteelement (9), das Verbindungselement (17) und das Basiselement (21) relativ zueinander verlagerbar sind und durch Auslenkung der mehreren ersten Federelemente (19) und der mehreren zweiten Federelemente (23) die optische Einrichtung (5) entlang der optischen Achse (7) verlagerbar ist,dadurch gekennzeichnet, dass- die optische Achse (7) mindestens zwischen zwei Federelementen der mehreren ersten Federelemente (19) und mindestens zwischen zwei Federelementen der mehreren zweiten Federelemente (23) angeordnet ist.