Microsystem for fluidic applications as well as manufacturing and use methods for a microsystem for fluidic applications

摘要

Mikrosystem (10, 50, 80) für fluidische Anwendungen mit einem Substrat (20, 51, 84), welches ein Reservoir (15, 52, 85), einen mit dem Reservoir (15, 52, 85) verbundenen ersten Mikrokanal (16, 53, 86), und einen von dem ersten Mikrokanal (16, 53, 86) durch einen Steg (17, 54, 87) getrennten zweiten Mikrokanal (18, 55, 88) aufweist, und mit einer elastischen Folie (13, 58, 83) auf dem Substrat (20, 51, 84), welche eine Fügung mit dem Substrat (20, 51, 84) um das Reservoir (15, 52, 85) aufweist und das Reservoir (15, 52, 85) verschließt, wobei die Fügung (33, 68) eine dauerhafte Fügefläche (29, 65, 89) und an dem Steg (17, 54, 87) eine aufbrechbare Steg-Fügefläche (31, 66) aufweist, welche sich an beiden Enden des Stegs (17, 54, 87) an die dauerhafte Fügefläche (29, 65, 89) anschließt, wobei das Substrat (20, 51, 84) eine an die Folie (13, 58, 83) grenzende fluidische Substrat-Lage (12) mit einer fluidischen Struktur und eine der Folie (13, 58, 83) gegenüberliegende Deckel-Lage (11) aufweist und das Mikrosystem (10, 50, 80) eine an die Folie (13, 58, 83) angrenzende Schutz-Lage (92) gegenüber dem Substrat (20, 51, 84) mit einer Ausnehmung (93) im Bereich der aufbrechbaren Fügefläche (31, 66) aufweist, und wobei die Schutz-Lage (92) eine Ausnehmung (94) im Bereich des Reservoirs (85) aufweist.