光学系统评价装置及光学系统评价方法

摘要

本发明提供光学系统评价装置及光学系统评价方法，为了能短时间且高精度地评价评价对象光学系统的光学特性的分布，透镜评价装置(100)包括：摄像元件(10)，其以试料(4)和物镜(7a)的不同的相对距离拍摄经由物镜(7a)成像的多个孔像，生成层叠图像；像轴形状计算部(15)，其基于层叠图像的图像信息，检测各不同的相对距离的孔像的成像位置，对该检测的多个成像位置拟合曲线模型函数，计算回归式，并按照多个孔像的每一个，进行取得由该回归式规定的像轴的形状参数的处理；评价值计算部(16)，其对多个孔像的每一个的像轴的形状参数拟合表示物镜(7a)的光学特性的分布的特性分布模型函数，基于该拟合的特性分布模型函数，计算物镜(7a)的光学特性的评价值。