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公开/公告号CN101673735B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-11-16
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN200910176406.4
发明设计人 侯永清;田丽钧;鲁立忠;李秉中;郭大鹏;
申请日2009-09-14
分类号H01L27/02(20060101);H01L23/528(20060101);
代理机构11306 北京市德恒律师事务所;
代理人梁永
地址 中国台湾新竹
入库时间 2022-08-23 09:08:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-11-16
授权
2010-04-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/02 申请日:20090914
实质审查的生效
2010-03-17
公开
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