首页> 中国专利> 通过纳米线生长形成的单片高纵横比纳米尺寸扫描探针显微镜尖端

通过纳米线生长形成的单片高纵横比纳米尺寸扫描探针显微镜尖端

摘要

公开了一种扫描探针,其中通过从尖端的顶部部分生长外延纳米线来延伸微加工的锥体尖端。金属的颗粒例如金,可以终止所述纳米线以实现无孔径近场光学显微探针。

著录项

  • 公开/公告号CN101438355B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-05-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 国际商业机器公司;

    申请/专利号CN200780008800.6

  • 发明设计人 G·M·科昂;H·F·哈曼;

    申请日2007-03-08

  • 分类号G01N23/00(20060101);G12B21/00(20060101);

  • 代理机构11247 北京市中咨律师事务所;

  • 代理人于静;杨晓光

  • 地址 美国纽约

  • 入库时间 2022-08-23 09:06:34

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-03-27

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 23/00 授权公告日:20110504 终止日期:20170308 申请日:20070308

    专利权的终止

  • 2011-05-04

    授权

    授权

  • 2011-05-04

    授权

    授权

  • 2009-07-15

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-07-15

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-05-20

    公开

    公开

  • 2009-05-20

    公开

    公开

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