热膨胀系数测定装置和热膨胀系数测定方法

摘要

本发明提供一种热膨胀系数测定装置和热膨胀系数测定方法。热膨胀测定装置具备：温度控制装置，其检测被测定物的温度；光波干涉仪，其使用单一波长的光对被测定物的长度尺寸进行测定；实测数据获取部，其依次变更被测定物的温度，获取在各温度下由光波干涉仪测定的被测定物的长度尺寸的实测数据；数据集生成部，其针对各实测数据生成通过将干涉级次设定在任意的范围内所得到的多个验证用数据，从针对各温度的验证用数据中分别选出一个验证用数据作为数据集并生成验证用数据的选择的组合不同的多个数据集；以及判定部，其关于多个数据集分别计算一阶近似函数，使用基于数据集的各验证用数据与一阶近似函数的残差的评价指标值来判定数据集的有效性。