脆性材料基板的倾斜型断开装置及断开方法

摘要

本发明提供一种脆性材料基板的倾斜型断开装置及断开方法，能够通过在进行脆性材料基板的断开工序时使分离工作台通过三个轴同时动作来断开脆性材料基板从而防止因在断开的脆性材料基板的切割面上可能发生的碎裂、扭断现象而导致的不良。本发明的一实施例的脆性材料基板的倾斜型断开装置包括：具有旋转部(110)的上部单元(100)；具有升降支承部(210)和与所述升降支承部(210)的侧部接合的升降部(220)的中间单元(200)；以及具有平板板件(320)和在所述平板板件(320)的下部沿长边方向移动的长边方向移动部(310)的下部单元(300)。