一种简支悬臂梁结构MEMS压电矢量水听器及制备方法

摘要

本发明涉及一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法，矢量水听器包括：多个压电传感芯片、对应的多个后置放大电路，以及灌封结构。压电传感芯片包括：质量块、悬臂梁和“回”形基底支撑结构；质量块与悬臂梁的一端相连；悬臂梁的另一端与“回”形基底支撑结构一侧内壁相连并设置有沟槽；“回”形基底支撑结构的另外三侧内壁与质量块、悬臂梁均不接触，形成U形狭缝；当有惯性力作用时，进行加速度电测得。本发明由于设置有沟槽结构，所以使原来的悬臂梁结构变成类简支结构，所以会明显提高水听器的灵敏度。压电复合简支弹性梁和质量块结构以及相应的灌封结构来构成MEMS压电矢量水听器，制备工艺相对简单，不需要微小气隙、灵敏度高、工作稳定、噪声低。