微电极及其制作和使用方法、塞类装置和微电极系统

摘要

一种微电极及其制作方法和使用方法、塞类装置和微电极系统。微电极包括衬底和导电层，该导电层设置在衬底上，配置为传导电信号。衬底为柔性衬底且包括空腔结构，该空腔结构配置为储存或释放流体。衬底在空腔结构中储存有流体时的硬度与衬底在空腔结构中没有流体时的硬度不同。该微电极具有良好的延展性和稳定的电学性能，且综合了硅基神经微电极成熟的植入方法和柔性神经微电极与生物组织硬度相接近的独特优势，既便于植入生物组织，又不易引起生物组织的免疫反应，并且制作方法简单，操作性较强。