公开/公告号CN107026231B
专利类型发明专利
公开/公告日2022.11.15
原文格式PDF
申请/专利权人 罗伯特·博世有限公司;
申请/专利号CN201710010169.9
发明设计人 S.德内;
申请日2017.01.06
分类号H01L41/083;H01L41/047;H01L41/27;H01L41/277;
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人李雪莹
地址 德国斯图加特
入库时间 2022-11-28 17:57:41
机译: 机电变换器和用于制造机电变换器的方法
机译: 用于制造例如机电的微机电系统结构的方法。加速度传感器涉及沉积氧化物层作为牺牲层,从而通过将离子撞击在氧化物层上而在氧化物层中形成多孔区域
机译: 用于制造通量传感器的集成微机电系统部件的方法,涉及通过去除基板背面的叠层的层部分来实现结构元件的机械迁移率