角速度检测器、利用角速度检测器的角速度检测方法及制造角速度检测器的方法

摘要

本发明涉及角速度检测器，通过利用环形薄膜振动器来精心设置电极，其能够获得角速度的高检测灵敏度并同时检测两个轴向的角速度。检测器包括：振动器(1101)，其以距离第一衬底(1100)的恒定间距浮置并且通过支承在形成在第一衬底(1123)上的支承部件(1105)、(1106)上的支承弹性元件(外弹簧(1102)和内弹簧(1103))来设置；激励装置(磁体(1124)和驱动电极(1108))，其用于沿恒定振动方向激励振动器(1101)；及位移检测装置(检测电极(1109)，电极(1120))，其用于检测当来自外部的角速度作用于通过激励装置沿激励方向保持振动的振动器(1101)时振动器(1101)关于角速度沿垂直于激励方向的方向的位移，所述振动器(1101)或包括所述振动器(1101)的角速度检测单元通过电磁驱动激励。