一种基于多频段耦合误差收敛的高收敛比离子束加工方法

摘要

本发明公开了一种基于多频段耦合误差收敛的高收敛比离子束加工方法，本发明在加工前根据低频误差比例Ki对根据空间域高度误差RMSi生成的去除函数进行调整，加工后根据加工面形误差收敛率Vi+1判断是继续采用原去除函数还是更换生成束径更小的去除函数进行迭代加工直至最终的误差满足要求。本发明从工件面形频率误差的角度利用离子束机床进行了分频段的误差修形，在使得各频段误差均得到高效收敛提高了面形收敛比的同时，也提高了离子束加工的修形精度，有利于多频段耦合面形误差的快速收敛，具有精度和效率兼备、可操作性强、工艺流程简单的优点。