公开/公告号CN109804457B
专利类型发明专利
公开/公告日2022.10.25
原文格式PDF
申请/专利权人 JSW阿克迪纳系统有限公司;
申请/专利号CN201780061352.X
申请日2017.06.02
分类号H01L21/268;G09F9/00;H01L21/20;H01L21/336;H01L21/677;H01L29/786;
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人曹廷廷
地址 日本国神奈川县横滨市金沢区福浦二丁目2番地1
入库时间 2022-11-28 17:52:15
机译: 激光照射台,激光照射光学系统,激光照射装置,激光照射方法以及半导体装置的制造方法
机译: 激光照射台,激光照射光学系统,激光照射装置,激光照射方法以及半导体装置的制造方法
机译: 激光照射台,激光照射光学系统,激光照射装置,激光照射方法以及半导体装置的制造方法