公开/公告号CN111443028B
专利类型发明专利
公开/公告日2022.09.13
原文格式PDF
申请/专利号CN202010339690.9
申请日2020.04.26
分类号G01N15/10;G01N21/03;G01N21/84;
代理机构武汉宇晨专利事务所(普通合伙);
代理人王敏锋
地址 430019 湖北省武汉市江岸区永清小路13号
入库时间 2022-09-26 23:20:13
机译: 用于光刻技术的基于金刚石的监测设备,以及一种包括基于金刚石的监测设备的光刻设备
机译: 用于光刻技术的基于金刚石的监测设备,以及一种包括基于金刚石的监测设备的光刻设备
机译: 一种基于AI和学习设备的基于AI的深度学习网络的方法