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公开/公告号CN112530936B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-18
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学;
申请/专利号CN202011341459.X
发明设计人 刘天奇;杨广文;甘霖;
申请日2020-11-25
分类号H01L27/02(20060101);H01L23/64(20060101);
代理机构11201 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人黄玉霞
地址 100084 北京市海淀区清华园
入库时间 2022-08-23 13:16:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-18
授权
发明专利权授予
机译:采用液面自组织的方法在洁净的玻璃片表面铺设单层六方密排的聚苯乙烯胶体球阵列,通过改变等离子 刻蚀的时间实现对胶体小球的直径控制,结合离子溅射Au膜和磁控溅射MoO2膜,最终构筑成为一种新颖的MoO2/Au微纳阵列结构,利用扫描电镜对所合成材料进行形貌表征;同时重点利用接触角测量仪对 微纳阵列薄膜的浸润性进行研究,分析水在微纳阵列表面所形成的接触角的角度变化,结果显示沉积 MoO2/Au微纳阵列比相应的Au微纳阵列更加亲水,有利于材料在水溶液中进行电化学反应。
机译:取向生长TiO2阵列薄膜的致密度和薄膜电阻调控研究
机译:单层胶体晶体及反蛋白质纳米阵列结构的制备研究
机译:镁合金表面微结构阵列的电化学微加工