颗粒膜巨磁电阻效应传感器材料

摘要

一种磁传感器材料，其特征是采用磁控溅射，离子束溅射、快淬等工艺将铁磁性颗粒镶嵌在不相固溶的非磁性介质之中，形式非均匀相组成体系，其化学通式为：FxA(1-x)其中F代表Fe，Ni，Co，Mn，FeSi，FeCo，FeNi，MnAl，MnBi等铁磁性金属及其合金。A代表Au，Ag，Cu等与Fe，Ni，Co不相固溶的金属，以及SiO₂，Al₂O₃，BN等绝缘体以及Si，Ge等半导体元素，X为体积百分数，取X为10＜X＜50%。本发明的特点是采用溅射、快淬工艺一次生成颗粒膜，其工艺较多层膜简便、成品率高、价格低廉。