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在基板上沉积沉积材料的蒸镀板、蒸镀设备、以及在基板上沉积沉积材料的方法

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摘要

一种用于在基板(5，5a，5b)上沉积沉积材料的蒸镀板(100)，蒸镀板(100)具有第一侧(S1)和与第一侧(S1)相对的第二侧(S2)，包括：主体板(1)；第一冷却层(11)，其位于主体板(1)上并且位于蒸镀板(100)的第一侧(S1)；以及第一加热层(12)，其位于第一冷却层(11)的远离主体板(1)的一侧。第一冷却层(11)构造为冷却位于蒸镀板(100)的第一侧(S1)的第一加热层(12)。第一加热层(12)构造为加热沉积在蒸镀板(100)的第一侧(S1)上的材料。还提供一种蒸镀设备、在基板(5，5a，5b)上沉积沉积材料的方法，以及显示设备。

著录项

  • 公开/公告号CN110462095B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-10-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司;

    申请/专利号CN201780001411.4

  • 发明设计人 姚固;邹清华;段廷原;

    申请日2017-11-01

  • 分类号C23C14/24(20060101);

  • 代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;

  • 代理人刘悦晗;陈源

  • 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

  • 入库时间 2022-08-23 12:34:24

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