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锍盐化合物、辐射敏感性酸产生剂和正型辐射敏感性树脂组合物

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摘要

提供一种在波长220nm以下的透明性优良，且作辐射敏感性酸产生剂时其感光度、分辨率、图案形状、LER、保存稳定性等性能优良的锍盐化合物以及以该化合物作为辐射敏感性酸产生剂的正型辐射敏感性树脂组合物。锍盐化合物用通式(1)表示。[R

1. 锍盐化合物、辐射敏感性酸产生剂和正型辐射敏感性树脂组合物 [P] . 中国专利： CN100457749C . 2009.02.04
2. 锍盐、光酸产生剂及光敏性树脂组合物 [P] . 中国专利： CN102317258B . 2014.06.04
3. Onium salt compound, a radiation-sensitive acid generator and positive-tone radiation-sensitive resin composition [P] . 日本专利： JP4947021B2 . 2012-06-06

机译：鎓盐化合物，辐射敏感性酸产生剂和正型辐射敏感性树脂组合物
4. Onium salt compound, a radiation-sensitive acid generator and positive-tone radiation-sensitive resin composition [P] . 日本专利： JP4380238B2 . 2009-12-09

机译：鎓盐化合物，辐射敏感性酸产生剂和正型辐射敏感性树脂组合物
5. Radiation-sensitive acid generator, onium salt compounds and positive-tone radiation-sensitive resin composition [P] . 日本专利： JP4292981B2 . 2009-07-08

机译：辐射敏感性酸产生剂，鎓盐化合物和正型辐射敏感性树脂组合物