用于利用激光增强电子隧穿效应检测深度特征中的缺陷的方法

摘要

一种用于基于激光增强电子隧穿效应来检测诸如沟道孔、过孔孔或沟槽的深度特征中的缺陷的方法。提供具有位于其上的膜堆叠层的衬底。在膜堆叠层中形成第一和第二深度特征。第一深度特征具有设置在其底部的牺牲氧化物层。第二深度特征包括欠蚀刻缺陷。牺牲氧化物层具有低于50埃的厚度。使衬底经受激光增强电子束检查过程。用电子束对衬底进行扫描，并且用激光束对衬底进行照射。激光束诱发跨越牺牲保护层的电子隧穿，由此俘获对应于第一深度特征的亮电压衬度(BVC)信号，并且检测对应于第二深度特征的暗电压衬度(DVC)信号。