通过和频振动光谱对样品的扫描表面成像的表面感测系统和方法

摘要

本文公开了通过和频振动光谱对样品(30)的扫描表面(32)成像的表面感测系统和方法。系统包括样品支架(20)、可见光源(40)和可调节IR光源(50)，可见光源配置为引导可见光束(42)入射在扫描表面(32)的采样位置(34)上，可调节IR光源配置为引导可调节IR光束(52)与可见光束(42)在采样位置(34)上重合。系统还包括扫描结构(60)和滤光器(70)，扫描结构配置为横跨扫描表面(32)扫描可见光束(42)和可调节IR光束(52)，滤光器配置为从扫描表面(32)接收发射光束(38)并且对发射光束(38)滤光以生成滤光光束(72)。系统进一步包括光检测系统(80)和对准结构(90)，光检测系统配置为接收滤光光束(72)。方法包括操作该系统的方法。