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金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法

摘要

本发明涉及金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法。本发明的目的是提供一种可制作翘曲小的蒸镀掩模的金属板。对从退火工序后的金属板中取得的样品进行了蚀刻的情况下,蚀刻后的样品的翘曲的曲率k为0.008mm‑1以下。

著录项

  • 公开/公告号CN108048793B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-11-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 大日本印刷株式会社;

    申请/专利号CN201711267429.7

  • 发明设计人 池永知加雄;

    申请日2014-01-10

  • 分类号C23C14/04(20060101);B21B1/22(20060101);H01L51/50(20060101);H05B33/10(20060101);

  • 代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人丁香兰;庞东成

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 11:19:51

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