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公开/公告号CN108336150B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-29
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;
申请/专利号CN201710049200.X
发明设计人 赵宇丹;肖小阳;王营城;金元浩;张天夫;李群庆;
申请日2017-01-20
分类号H01L29/872(20060101);H01L27/12(20060101);H01L21/329(20060101);
代理机构
代理人
地址 100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室
入库时间 2022-08-23 11:15:13
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