多带电粒子束曝光方法以及多带电粒子束曝光装置

摘要

本发明涉及多带电粒子束曝光方法及多带电粒子束曝光装置，在使用基于带电粒子束的多束将按每束预先设定的多个控制照射时间对应的多个分割发射分别组合来对相同的照射位置持续进行多个分割发射，来对多重曝光中的每个通路的各束的照射位置分别进行所希望的照射时间的曝光的情况下，使用预先取得的消隐误差时间，按每个控制照射时间运算实效照射时间，创建表示控制照射时间与实效照射时间的关系的相关关系数据，使用相关关系数据，按试样的每个照射位置，选择与所希望的照射时间更接近的实效照射时间所对应的分割发射的组合，使用多束，进行按照对于试样的每个照射位置选择出的分割发射的组合的曝光。