端面检查装置及其聚焦图像数据获取方法

摘要

一种进行检查对象的端面的检查的端面检查装置，其具备：光学系统，能够将保持的检查对象的端面的像成像于图像获取部；聚焦度变化机构，使检查对象的端面与光学系统的焦点位置之间的距离变化；及控制部，进行利用图像获取部获取的图像数据的处理，在使检查对象的端面与光学系统的焦点位置之间的距离变化的期间，以预先设定的时间间隔来获取所述图像获取部输出的一连串的图像数据，并判定图像数据的每一个是否对焦，并选择对焦的图像数据作为端面检查用的图像数据。